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大尺寸硅外延生产技术
关键字:
大尺寸
硅外延
生产技术
所属行业:
新材料
发布时间:
2015-03-02
价格:
所在地区:
江苏 南京
合作信息期限:
2016年2月
合作信息类型:
意向合作
机构类型:
企业
供求关系:
供应
合作信息简介:
【技术简介】通过对外延设备在硅片上再生长一层外延层的控制、不同的参杂等,可满足不同客户的产品需求。外延工艺是以 SiHCl3为源,通过中频加热方式进行气相淀积,电阻率、厚度、均匀性和重复性均能得到较好的控制。 【技术特点】已完全掌握6~8英寸硅外延工艺和技术,产品及工艺技术水平国内..
发布机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
共
1
页 总数:
2
条
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